Эйхман испытывал нескрываемую гордость за четко спланированные им операции.
По свидетельству многих нацистов, в том числе и сотрудников Эйхмана, он был фанатично предан идее истребления евреев Европы и даже в ряде случаев саботировал приказы Г. Гиммлера, если они могли замедлить процесс уничтожения евреев или спасти отдельных жертв.

В конце войны Эйхман был арестован союзниками, но не был опознан. Он бежал, скрывался и в 1950 г. при помощи представителей Ватикана уехал в Аргентинк. Поселился в Буенос-Айрес с женой и тремя детьми. В мае 1960 г. Эйхман был выслежен и схвачен в Аргентине агентами израильской разведки.

В Израиле Эйхман был сразу арестован по постановлению суда.  После окончания следствия юридический советник правительства Г. Хаузнер подписал обвинительное заключение. Эйхман обвинялся в преступлениях против еврейского народа, преступлениях против человечества, принадлежности к преступным организациям (СС и СД, гестапо). Преступления против еврейского народа включали в себя все виды преследований, в том числе арест миллионов евреев, концентрация их в определенных местах, отправка в лагеря смерти, убийства и конфискация собственности.

11 апреля 1961 г. в Иерусалимском окружном суде начался процесс Эйхмана. Председателем суда был член Верховного суда М. Ланда, судьями — Б. Халеви (1910–66) и И. Раве. Обвинение поддерживала группа прокуроров во главе с Г. Хаузнером. Защиту возглавлял немецкий адвокат доктор Р. Серватиус, в прошлом защищавший ряд обвиняемых во время международных процессов нацистских преступников в Нюрнберге и других странах. Со стороны обвинения на процессе выступило более 100 свидетелей и было предоставлено 1600 документов, большинство из которых были подписаны Эйхманом. В ходе судебных слушаний была вскрыта роль Эйхмана на всех стадиях процесса «окончательного решения». Он осуществлял руководство и контроль над отправкой всех эшелонов с евреями в лагеря смерти.

15 декабря 1961 г. суд приговорил А. Эйхмана к смертной казни, признав его виновным в преступлениях против еврейского народа, против человечества и военным преступником. Адвокат Эйхмана подал апелляцию в Верховный суд, который 29 мая 1962 г. отклонил ее и подтвердил приговор первой инстанции. Президент Израиля также отклонил прошение Эйхмана о помиловании. Эйхман был повешен в городе Рамла в ночь с 31 мая на 1 июня 1962 г. Тело его было сожжено, а пепел развеян над Средиземным морем за пределами территориальных вод Израиля.

Значение процесса Эйхмана огромно не только для евреев. На суде присутствовали многочисленные представители международных средств массовой информации. Приговор был воспринят в мире как торжество исторической справедливости. Особое впечатление процесс Эйхмана произвел в Германии.